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20、可以采取哪种方法来提高光刻分辨率?A.缩短光源波长;B.减小光学系统数值孔径;C.减小分辨率系数;D.增长光源波长;E.增大光学系统数值孔径;F.增大分辨率系数。

题目

20、可以采取哪种方法来提高光刻分辨率?

A.缩短光源波长;

B.减小光学系统数值孔径;

C.减小分辨率系数;

D.增长光源波长;

E.增大光学系统数值孔径;

F.增大分辨率系数。


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  • 第1题:

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    正确答案:错误

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    为了提高银行业的竞争能力,银行可以采取暂时不计成本的方法来扩大中间业务的开展。


    正确答案:错误

  • 第3题:

    如果颗粒厚度偏大,可以采取进刀的方法来消除。


    正确答案:错误

  • 第4题:

    关于打印,以下说法错误是?()

    • A、提高打印机的分辨率,可以获得较大的尺寸的图像
    • B、提高图像的分辨率,可以获得较大的打印尺寸的图像
    • C、打印机的分辨率与图像的尺寸无关
    • D、提高打印机的分辨率,可以获得较好分辨率的图像

    正确答案:A,B,D

  • 第5题:

    如果要增大图像,或提高图像的分辨率,就要根据设定的差值运算方法来增加像素。


    正确答案:正确

  • 第6题:

    问答题
    什么是负胶分辨率的限制,哪种胶应用在亚微米光刻胶中?

    正确答案: 由于显影时的变形和膨胀,负性光刻胶通常只有2μm的分辨率。
    正性光刻胶。
    解析: 暂无解析

  • 第7题:

    问答题
    试述企业可以采取哪些方法来识别风险。

    正确答案: 从风险识别的途径来看,风险识别可运用经济单位外部,如风险公司、风险及保险学会等设计的风险分析表格,直接用来识别自身的风险。这些方法有:保险调查法,保单对照法,资产损失分析法等,但此类方法仅提供一般性风险的识别。由于经济单位都各有自己的特点,经济单位可针对内部特有状况自行设计识别风险的方法,此类方法有:财务报表分析法,流程图分析法等。
    风险识别的各种方法在风险识别的两个阶段中有着不同程度的运用。财务报表分析法、流程图分析法、保险调查法等较多地被用于感知风险;风险清单分析法、威胁分析法、事故树分析法以及风险因素分析法则较多地被用于分析风险。还有一些方法在感知风险和风险中都能得到较好地运用,如现场调查法,与组织内外专家磋商等。
    每一种风险识别方法都存在一定的局限性。
    解析: 暂无解析

  • 第8题:

    填空题
    光刻工艺的分辨率决定于:()和曝光、显影、刻蚀条件的正确控制。正胶的分辨率()于负胶的分辨率;光刻胶越薄,分辨率越()。

    正确答案: 光刻机的分辨率、光刻胶的种类、光刻胶的厚度、光刻胶的对比度,高,高
    解析: 暂无解析

  • 第9题:

    判断题
    如果要增大图像,或提高图像的分辨率,就要根据设定的差值运算方法来增加像素。
    A

    B


    正确答案:
    解析: 暂无解析

  • 第10题:

    问答题
    最早应用在半导体光刻工艺中的光刻胶是哪种胶?

    正确答案: 负光刻胶
    解析: 暂无解析

  • 第11题:

    多选题
    关于打印,以下说法错误是?()
    A

    提高打印机的分辨率,可以获得较大的尺寸的图像

    B

    提高图像的分辨率,可以获得较大的打印尺寸的图像

    C

    打印机的分辨率与图像的尺寸无关

    D

    提高打印机的分辨率,可以获得较好分辨率的图像


    正确答案: C,A
    解析: 暂无解析

  • 第12题:

    单选题
    用高能准直器对低能核素显像,说法正确的是(  )。
    A

    可以,但灵敏度降低

    B

    完全不行

    C

    可以,且灵敏度提高

    D

    可以,且分辨率提高

    E

    可以,且分辨率和灵敏度都提高


    正确答案: E
    解析:
    高能准直器吸收射线较多,图像灵敏度降低。

  • 第13题:

    试述企业可以采取哪些方法来识别风险。


    正确答案: 从风险识别的途径来看,风险识别可运用经济单位外部,如风险公司、风险及保险学会等设计的风险分析表格,直接用来识别自身的风险。这些方法有:保险调查法,保单对照法,资产损失分析法等,但此类方法仅提供一般性风险的识别。由于经济单位都各有自己的特点,经济单位可针对内部特有状况自行设计识别风险的方法,此类方法有:财务报表分析法,流程图分析法等。
    风险识别的各种方法在风险识别的两个阶段中有着不同程度的运用。财务报表分析法、流程图分析法、保险调查法等较多地被用于感知风险;风险清单分析法、威胁分析法、事故树分析法以及风险因素分析法则较多地被用于分析风险。还有一些方法在感知风险和风险中都能得到较好地运用,如现场调查法,与组织内外专家磋商等。
    每一种风险识别方法都存在一定的局限性。

  • 第14题:

    提高球团的氧化气氛可以通过提高过剩空气系数方法来达到。


    正确答案:正确

  • 第15题:

    一般来说,到装置生产周期末期,一般采取()的方法来提高反应深度。

    • A、提高压力
    • B、提高反应温度
    • C、提高循环氢纯度
    • D、提高循环氢量

    正确答案:B

  • 第16题:

    晶片经过显影后进行坚膜,坚膜的主要作用有()。

    • A、除去光刻胶中剩余的溶剂
    • B、增强光刻胶对晶片表面的附着力
    • C、提高光刻胶的抗刻蚀能力
    • D、有利于以后的去胶工序
    • E、减少光刻胶的缺陷

    正确答案:A,B,C,E

  • 第17题:

    采用提高动作难度的方法来提高学员的分化能力,可以使运动技能掌握得更精确。


    正确答案:正确

  • 第18题:

    问答题
    简述什么是光刻胶、光刻胶的用途、光刻对光刻胶的要求。

    正确答案: 光刻胶是一种有机化合物,它受紫外线曝光后在显影液中的溶解度发生显著变化,而未曝光的部分在显影液中几乎不溶解。
    光刻胶的用途:①做硅片上的图形模版(从掩膜版转移到硅片上的图形);
    ②在后续工艺中,保护下面的材料(例如刻蚀或离子注入)。
    光刻对光刻胶的要求:①分辨率高;
    ②对比度好;
    ③敏感度好;
    ④粘滞性好;
    ⑤粘附性好;
    ⑥抗蚀性好;
    ⑦颗粒少。
    解析: 暂无解析

  • 第19题:

    问答题
    计算扫描光刻机的分辨率,假设波长是248nm, NA=0.65,  K是0.6。

    正确答案: 0.6*248/0.65=228.9   R=K*入/NA
    解析: 暂无解析

  • 第20题:

    问答题
    光刻工艺的主要流程有哪几步?什么是光刻工艺的分辨率?从物理角度看,限制分辨率的因素是什么?最常用的曝光光源是什么?

    正确答案: 光刻的工艺流程共分7步:(1)涂胶,(2)前烘,(3)曝光,(4)显影,(5)坚膜(6)刻蚀,(7)去胶。分辨率是指线条和间隔清晰可辨时每mm中的线对数。从物理的角度看,限制分辨率的因素是衍射。最长用的曝光光源是紫外光。
    解析: 暂无解析

  • 第21题:

    问答题
    何为分辨率、对比度、IC制造对光刻技术有何要求?

    正确答案: 分辨率:是指一个光学系统精确区分目标的能力
    对比度:是评价成像图形质量的重要指标
    要求:分辨率越来越高、焦深越来越大、对比度越来越高、特征线宽越来越小、套刻精度越来越高
    解析: 暂无解析

  • 第22题:

    判断题
    曝光波长的缩短可以使光刻分辨率线性提高,但同时会使焦深线性减小。如果增大投影物镜的数值孔径,那么在提高光刻分辨率的同时,投影物镜的焦深也会急剧减小,因此在分辨率和焦深之间必须折衷。
    A

    B


    正确答案:
    解析: 暂无解析

  • 第23题:

    判断题
    为了提高银行业的竞争能力,银行可以采取暂时不计成本的方法来扩大中间业务的开展。
    A

    B


    正确答案:
    解析: 暂无解析

  • 第24题:

    问答题
    陈述分辨率公式。影响光刻分辨率的三个参数?

    正确答案: R.K*入/NA
    1,波长 入
    2,数值孔径NA
    3,工艺因子K
    解析: 暂无解析