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组成MEMS的部件有()A.微传感器B.微执行器C.信号处理和控制电路D.电源

题目
组成MEMS的部件有()

A.微传感器

B.微执行器

C.信号处理和控制电路

D.电源

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1.组成电路的基本部件有电源、()和()。

2.压缩机的流通部件有（）等组成。

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