试说明光栅位移测量系统的四细分原理。

第1题：

光栅尺是一种能够间接检测直线位移或角位移的伺服系统反馈元件，准确的直接测量位移的元件。

第2题：

在实验室内有应变式位移传感器、变极距电容位移传感器、变气隙式互感位移传感器、螺管式互感位移传感器、电涡流传感器、直线光栅传感器。 （1）欲测一微米级的位移，试给出三种可行方案的原理框图，并说明其工作原理。 （2）欲测一毫米级的位移，试给出两种可行方案的原理框图，并说明其工作原理。

第3题：

用光栅位置传感器测量机床位移，若光栅栅距为0.01mm，莫尔条纹移动数为1000个，若不采用细分技术则机床位移量为（)。

A．0.1mm

B．1mm

C．10mm

D．100mm

第4题：

下列关于光栅的辨向和细分说法正确的是（）。

A．增加光栅刻线的密度可以提高光栅的分辨率

B．不增加刻线密度，采用电子细分电路也可以提高光栅的分辨率，提高测量精度

C．电子细分又称为倍频细分

D．常用的是四倍频

第5题：

用光栅位置传感器测量机床位移，若光栅栅距为0.01mm，莫尔条纹移动数为10000个，若不采用细分技术则机床位移量为（）

A．0.1mm

B．1mm

C．10mm

D．100mm